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SuperViewW白光干涉表面形貌3D測量儀利用光學干涉原理研制開發的超精細表面輪廓測量儀器，主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。

VT6000非接觸式3D共聚焦顯微系統以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，在相同物鏡放大的條件下，所展示的圖像形態細節更清晰更微細，橫向分辨率更高。

NS系列高分辨率臺階儀集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。

中圖儀器sem臺式掃描電鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析。其簡便的操作系統，讓復雜的掃描電鏡使用過程變得簡單快捷：樣品一鍵裝入，自動導航和一鍵出圖能力（自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度）幫助用戶在短短幾十秒內就可獲取高清圖像，大大提升了使用效率。

CEM3000一鍵快速成像臺式掃描電鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析，標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統，能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求，實現微觀的形貌和元素分析等。

VT6000系列3D影像測量共聚焦顯微鏡擅長微納級粗糙輪廓的檢測，配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像，對細節的展現纖毫畢現。