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中圖臺式掃描電鏡用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析，標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求，實(shí)現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。

SuperViewW系列白光干涉儀三維表面測量系統(tǒng)以白光干涉技術(shù)為原理結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

VT6000國產(chǎn)共聚焦3D材料測量顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理，在相同物鏡放大的條件下，所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì)，橫向分辨率更高，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。

NS系列納米級2D臺階高度測量儀采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)，其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。

CEM3000大樣品倉臺式掃描電鏡用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析，臺式掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實(shí)時呈現(xiàn)所得結(jié)果。

VT6000超高分辨率共聚焦顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量。共聚焦顯微鏡測量表面物理形貌，進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。