VT6000材料3D測量共聚焦顯微鏡是基于光學(xué)共軛共焦原理,一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測,可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。
SuperViewW非接觸式3D白光干涉儀基于白光干涉原理,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。
NS200接觸探針式微納米測量臺(tái)階儀采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級(jí)分辨率和超微測力等特點(diǎn)。它利用光學(xué)干涉原理,通過測量膜層表面的臺(tái)階高度來計(jì)算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。
VT6000共聚焦三維光學(xué)輪廓顯微鏡是基于光學(xué)共軛共焦原理,結(jié)合精密縱向掃描,以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像,從而進(jìn)行分析。
SuperViewW白光干涉3D材料表面輪廓儀采用白光干涉技術(shù),結(jié)合具有抗噪性能的3D重建算法,真實(shí)還原樣品的每一個(gè)細(xì)節(jié)。可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。
VT6000三維形貌共聚焦材料測量顯微鏡單區(qū)域、多區(qū)域、拼接、自動(dòng)測量等多種測量模式可選擇,適應(yīng)多種現(xiàn)場應(yīng)用環(huán)境;Z軸上裝有防撞機(jī)械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護(hù)功能,雙重保護(hù)。
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