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中圖儀器白光干涉儀專用于非接觸式快速測(cè)量，具有三維形貌測(cè)量和圖像分析的功能。適合檢測(cè)的樣品按領(lǐng)域分為微納材料、超精密加工（機(jī)械、光學(xué)）、半導(dǎo)體封裝、消費(fèi)電子類這四個(gè)領(lǐng)域。

SuperView W3白光干涉儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工科研院所等領(lǐng)域中。可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，

SuperView WX 100白光干涉測(cè)頭是一款非接觸式精密光學(xué)測(cè)頭，其基于白光干涉和精密掃描研制而成，主要由光學(xué)干涉系統(tǒng)和Z向掃描系統(tǒng)組成，具有體積小、重量輕、便攜的特點(diǎn)，能夠方便地搭載在各種具備XY水平位移架構(gòu)的平臺(tái)上，在產(chǎn)線上對(duì)器件表面進(jìn)行自動(dòng)化形式的測(cè)量，直接獲取與表面質(zhì)量相關(guān)的粗糙度、輪廓尺寸等2D/3D參數(shù)。